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什么是微细加工?


当您想到制造业时,您可能会想到汽车工厂会生产大型可随时驾驶的车辆。虽然这肯定是制造业的一部分,但在很多 较小的水平。例如,微细加工专门指制造微米或更小规模的小结构的过程。它用于广泛的制造领域,包括集成电路、半导体、微流控器件、太阳能电池板电池、平板显示器、传感器、燃料电池等。

从微细加工的尺寸来看,一微米相当于百万分之一米,或千分之一毫米。这种测量通常用于红外光的波长、生物细胞和与微细加工有关的制造过程。由于其尺寸非常小,因此在进行微细加工工作时必须使用某些高科技工具。

值得注意的是,微细加工是一个包罗万象的术语,用于描述涉及微米或更小规模的小型结构的所有制造过程。其他常用来描述这些过程的术语包括微机械加工、半导体加工、微电子制造等。

微制造是最近在微电子行业中创建的一种相对较新的制造工艺。公司基本上缩小了电火花加工等传统加工工艺,以创建微细加工。

那么,微型设备是如何产生的呢?确切的过程取决于无数因素,包括制造它的公司、工人可以使用的工具、所需的规格等等。话虽如此,一个典型的微型器件首先是通过沉积薄膜然后用各种微特征图案化薄膜来创建的。接下来,该公司可能会蚀刻掉部分顶层薄膜。

薄膜在微细加工中起着关键作用。微加工产品通常使用多层薄膜制成。对于电子设备,这些薄膜可能包含允许电流流动的导电金属。另一方面,光学设备可能具有反射或透明薄膜以提高可见度和清晰度。并且医疗器械可能具有抑制微生物生长的化学薄膜。

无论如何,微细加工都不是一个快速或简单的过程。报告表明,典型的存储芯片需要大约 30 次光刻、10 次氧化、20 次蚀刻和 10 次掺杂步骤来制造。公司通常使用掩模计数来衡量制造产品的难度,掩模计数是指最终产品中不同图案层的数量。如果一个产品有 120 个不同的层,它的掩码数也是 120。


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