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压阻传感器:将压力转化为精准电子读数的核心技术

压阻传感器:将压力转化为精准电子读数的核心技术

压阻传感器利用半导体材料受机械应力时电阻率变化实现电子动作。基于材料受压弯曲时潜在电阻特性变化,引起通过电流相应变化,转化为测量读数。常用半导体材料为锗、多晶硅、非晶硅、单晶硅,同属电子元件基础材料家族。灵敏度特性多样,适配不同行业需求。

半导体受机械应力时电阻率(阻碍电流能力)改变,导致电阻值变化,通过电流升降,指示应力大小。压阻效应用于制造挠度敏感半导体器件,记录测量加速度、压力等应力诱导力。

典型传感器由压敏半导体隔膜及多个n+、p+接触组成。电流按电阻率通过晶片,隔膜受压电阻变化导致电流传输与读数不同。器件从简单压阻器(量程温稳有限)到高稳高精Piezo-FETs。

广泛用于机械应力测量:汽车真空/压力传感器、油气液位指示;医疗血压仪;深潜深度计;飞机高度计、气压仪。电子测量仪器(惠斯通电桥、双极晶体管)、加速度计(姿态、加速度、振动)亦用此技术。家用洗碗机、吸尘器、洗衣机也采用。

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