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了解半导体制造工艺:从材料到最终产品

半导体是现代技术中始终存在的元素。从导电能力来判断,这些设备介于全导体和绝缘体之间。它们用作计算机、收音机、电话和其他设备中数字电路的一部分。

半导体制造工艺从基材开始。半导体可以由十几种此类材料中的一种制成,包括锗、砷化镓和几种铟化合物,例如锑化铟和磷化铟。最流行的基材是硅,因为其生产成本低、加工简单且温度范围大。

以硅为例,半导体制造工艺从硅晶圆的生产开始。首先,使用金刚石锯将硅切成圆形晶圆。然后根据厚度对这些晶圆进行分类并检查是否有损坏。然后,对晶圆的一侧进行化学蚀刻并抛光​​至镜面光滑,以去除所有杂质和损坏。切屑构建在光滑的一面。

在硅片的抛光面上涂上一层二氧化硅玻璃。该层不导电,但有助于准备光刻材料。在晶圆上涂上一层光致抗蚀剂(一种光敏化学品)后,制造过程还会在晶圆上施加多层电路图案。然后,光线穿过掩模版和透镜掩模,将所需的电路图案压印到晶圆上。

使用多种混合在一起的有机溶剂在称为灰化的过程中洗掉光刻胶图案。该工艺产生三维 (3D) 晶圆。然后使用湿化学品和酸清洗晶片,以消除任何污染物和残留物。通过重复整个光刻过程可以添加多层。

添加各层后,硅晶片的区域就会暴露在化学物质中,以降低其导电性。这是通过使用掺杂原子取代原始晶圆结构中的硅原子来完成的。很难控制向任一区域注入多少掺杂原子。

半导体制造过程的最终任务是在整个晶圆表面涂上一层薄薄的导电金属。通常使用铜。然后对金属层进行抛光以去除不需要的化学物质。半导体制造过程完成后,将对成品半导体进行彻底测试。

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