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先进亚像素空间分辨率干涉测量:超越奈奎斯特极限

NASA马歇尔创新者与阿拉巴马大学亨茨维尔分校应用光学中心合作,开发系统将光学表面干涉测量空间分辨率提升至干涉仪成像系统/探测器基本奈奎斯特极限之上。亚像素空间分辨率干涉测量(SSRI)系统使光学制造者能准确合格标准干涉仪无法准确分辨空间频率表面特征。

光学设计当前趋势产生新规格,要求特定空间频带并呼吁大口径光学;然而表征全口径这些特征能力需改进。SSRI系统通过结合亚像素侧向位移低分辨率测量交织拼接技术提升全口径干涉测量空间分辨率满足此需求。

SSRI系统通过在电荷耦合器件(CCD)探测器与被测光学件间进行亚像素位移多次测量光学表面,将测量组合创建单一更高空间分辨率测量。

测量用拼接算法组合。此方法缓解像素尺寸间距定义空间分辨率约束。假设光学系统设计允许更高空间频率特征通过。新技术将使精密光学能准确按规格合格,允许制造者确定性修正更高空间频率误差。SSRI系统经微修改可集成现有商用干涉仪和干涉轮廓仪提升可获得空间分辨率。

NASA正积极寻找许可方商业化此技术。请联系NASA许可礼宾 licensing@nasa.gov 或致电202-358-7432启动许可讨论。点击此处 获取更多信息。

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