亚像素空间分辨率干涉测量
NASA Marshall 的创新者与位于亨茨维尔的阿拉巴马大学应用光学中心合作开发了一种系统，该系统将光学表面干涉测量的空间分辨率提高到干涉仪成像系统/探测器的基本奈奎斯特极限之外。亚像素空间分辨率干涉仪（SSRI）系统使光学制造商能够准确地鉴定使用标准干涉仪无法准确分辨的空间频率的表面特征。
光学设计的当前趋势是产生新型规格，需要不同的空间频带并需要更大孔径的光学器件；然而，在全孔径上表征这些特征的能力需要改进。 SSRI 系统通过增加全孔径干涉测量的空间分辨率来满足这一需求，该系统使用一种技术，该技术结合了在亚像素横向偏移处进行的低分辨率测量的交错拼接以提高空间分辨率。
SSRI 系统通过对光学表面进行多次测量来提高干涉测量的空间分辨率，其中电荷耦合器件 (CCD) 检测器和测量之间的被测光学器件之间存在亚像素偏移。然后将这些测量值组合起来以创建具有更高空间分辨率的单个测量值。
使用拼接算法组合测量值。这种方法减轻了由像素大小和间距定义的空间分辨率约束。假设光学系统的设计允许更高空间频率的特征通过。这种新技术将使精密光学器件能够准确地符合规格要求，并允许制造商确定性地校正更高的空间频率误差。 SSRI 系统只需稍加修改即可集成到现有的商用干涉仪和干涉轮廓仪中，以提高可获得的空间分辨率。
NASA 正在积极寻求被许可方将这项技术商业化。请通过以下方式联系 NASA 的许可礼宾部 此电子邮件地址已受到防止垃圾邮件机器人的保护。您需要启用 JavaScript 才能查看它。或致电 202-358-7432 与我们联系以发起许可讨论。在此处点击此链接 了解更多信息。
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