高性能铌钛氮化物薄膜涂层用于红外探测器吸收体
阻抗匹配涂层用于吸收体应用，将中远红外（IR）辐射耦合到悬浮在超薄介质膜上的超灵敏测辐射热计探测器。为提供足够响应度，测辐射热计探测器必须有低热容。此外，为达最优信噪比，入射光谱滤波是可取的。
常规吸收体涂层方法易老化，妨碍仪器瞬态光学效率。此外，常规吸收体涂层高热容影响低本底低温探测器性能。常规吸收体涂层在短波长极限也有反应性，相应降低耦合效率。再者，一些薄膜吸收体涂层极高内应力，可导致介质膜破裂或弯曲。
NASA戈达德航天飞行中心开发的铌钛氮化物（NbTiN）薄膜涂层，可将光光学耦合到悬浮在超薄介质膜上的测辐射热计探测器。涂层也可滤除会增加探测器光子限制噪声的低频谱成分。
NbTiN薄膜涂层在介质基板上用专用反应溅射共沉积工艺制造。用两个不同溅射源，一源含铌溅射靶，另含钛溅射靶。铌和钛在富氮环境沉积。
NbTiN涂层可通过沉积在超薄硅膜一侧使用，对特定应用有明确光学阻抗要求——NbTiN涂层也可沉积非硅膜。NbTiN涂层低内应力，使其机械兼容集成在超薄介质膜上。涂层具高光学效率吸收所需光学阻抗。此外，涂层极低超导转变温度，使其能滤除特定频率辐射。
NbTiN涂层特别适用于超灵敏低温测辐射热计探测器应用，可复现制造且不增加探测器架构制造复杂度。
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