铌钛氮化薄膜涂层
阻抗匹配涂层用于吸收器应用，以将中远红外 (IR) 辐射耦合到悬浮在超薄介电膜上的超灵敏辐射热检测器。为了提供足够的响应度，辐射热检测器必须具有低热容量。此外，为了获得最佳的信噪比，需要对入射辐射进行光谱滤波。
吸收器涂层的传统方法容易老化，这会阻碍仪器的瞬态光学效率。此外，传统的吸收涂层具有高热容量，会影响低背景低温探测器的性能。传统的吸收涂层在短波长范围内也具有反应性，这相应地降低了它们的耦合效率。此外，一些薄膜吸收涂层具有极高的内应力，会导致介电膜破裂或弯曲。
由美国宇航局戈达德太空飞行中心开发的铌钛氮化物 (NbTiN) 薄膜涂层可以将光耦合到悬挂在超薄介电膜上的辐射热探测器。该涂层还可以滤除会增加探测器光子限制噪声的低频光谱成分。
NbTiN 薄膜涂层是使用专门的反应溅射共沉积工艺在介电基板上制造的。使用两种不同的溅射源，其中一种源包含铌溅射靶，而另一种源包含钛溅射靶。铌和钛在富氮环境中沉积。
NbTiN 涂层可以通过将其沉积在超薄硅膜的一侧来使用，并且对于特定应用具有明确定义的光阻抗要求——NbTiN 涂层也可以沉积在非硅膜上。 NbTiN 涂层具有低固有应力，这使其在机械上与超薄介电膜上的集成兼容。该涂层具有高光效率吸收所需的光阻抗。此外，该涂层具有非常低的超导转变温度，使其能够滤除特定频率的辐射。
NbTiN 涂层特别适用于超灵敏低温辐射热探测器应用，并且可以以可重复的方式制造，同时不会使探测器结构的制造过程复杂化。
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