真空系统检漏技术全解析:从溶剂法到氦质谱法
真空泄漏表现迥异于压缩空气管路泄漏。听音、皂液、嗅味适用正压系统,真空系统均失效。真空泄漏源包括结构微孔、密封件污染、壁面逸出气体。微观泄漏亦可重创工艺。不同真空区间对应不同检漏手段。
主流检漏方法
- 溶剂法:粗真空喷洒丙酮/酒精,观察真空计(如热偶计)读数变化定位泄漏
- 压升法:测定单位时间容器压升速率判定是否泄漏,但无法定位。深真空区喷氦配合质谱检漏仪/氦质谱仪可精准定位泄漏点与性质,适配中精真空,粗真空效果差
无泄漏系统是工艺成果与稳定运行的前提。根据工作真空度选择匹配的检漏封堵方案。
了解如何识别系统潜在真空泄漏,请联系阿特拉斯·科普柯专家。
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