片上实验室流量和温度传感器
美国宇航局戈达德太空飞行中心开发了一种用于微分析系统的传感器，可以实时测量被采样液体的流速和温度。电流传感器将液体转移到单独的温度和流量传感器，这可能导致流体泄漏和需要更大的初始样本。这种设计消除了这种转移。系统传感器可测量每分钟纳升范围内的流速，温度范围从 150 °C 以上到 -80 °C 以下。
该系统中的传感器封装在氮化硅 (SiN) 中，以将它们与流体流电隔离，并悬挂在通道中间，以最大限度地提高它们的灵敏度和响应时间。温度传感器用作流量传感器设计的一部分。加热器前面（之前）的温度传感器给出流体的初始温度读数。加热器后面（跟随）的传感器测量加热器能够注入流体的热量。通过知道流体的热导率和热容，再加上电阻的功率和温度的变化，就可以计算出流体的流量。
传感器是在硅 (Si) 晶片上制造的，该晶片上刻有微通道。牺牲层沉积在硅晶片上以回填通道；这为制造传感器提供了一个平面。
NASA 正在积极寻求被许可方将这项技术商业化。请通过以下方式联系 NASA 的许可礼宾部 此电子邮件地址已受到垃圾邮件机器人的保护。您需要启用 JavaScript 才能查看它。或致电 202-358-7432 与我们联系以发起许可讨论。点击此链接了解更多信息：https://technology.nasa.gov/patent/GSC-TOPS-159 .
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