NASA戈达德实验室芯片实验室传感器：实时流量与温度监测
微分析系统的集成传感新突破
NASA戈达德太空飞行中心开发用于微分析系统的传感器，实时测量采样液体的流速和温度。现有传感器将液体分流至单独温度和流量传感器，可能导致流体泄漏且需要更大初始样本量。此设计消除了分流。系统传感器测量纳升/分钟量级流速，温度范围从150°C以上至-80°C以下。
系统传感器封装在氮化硅（SiN）中，与流体流动电隔离，悬浮在通道中间以最大化灵敏度和响应时间。温度传感器作为流量传感器设计一部分。加热器前的温度传感器给出流体初始温度读数。加热器后的传感器测量加热器向流体注入多少热量。通过已知流体热导率和热容、电阻功率及温度变化，可计算流体流速。
传感器制造在刻有微通道的硅（Si）晶圆上。在Si晶圆上沉积牺牲层回填通道，提供平面表面制造传感器。
NASA正积极寻找许可方商业化此技术。请联系NASA许可礼宾：This email address is being protected from spambots. You need JavaScript enabled to view it. 或致电202-358-7432启动许可讨论。更多信息：https://technology.nasa.gov/patent/GSC-TOPS-159 .
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