半导体行业中的高性能塑料
高性能塑料在半导体行业中发挥着至关重要的作用。 制造半导体是一个复杂的过程。它从硅晶片和一个称为晶圆厂的独立制造设施开始，建造成本可能高达数十亿美元。晶圆厂的中心部分是洁净室。
洁净室内的灰尘受到严格控制。即使是最小的管道斑点也比微电路大，可能会损坏 IC。此外，该设施具有减震功能，并仔细保持温度和湿度，以尽量减少静电。
集成电路是使用光刻、蚀刻、清洁、薄膜沉积和抛光等工艺制造的。它需要大约 270 种化学物质和气体 1 生产集成电路。 其中许多具有极强的腐蚀性：硝酸、盐酸和氢氟酸以及臭氧等等。金属在暴露于这些化学品中时会腐蚀，产生不可接受的微粒和设备故障……但有许多高性能塑料在这些极端条件下表现非常好。
以下是半导体行业高性能塑料的十大性能标准列表：
1. 优异的耐化学性，避免腐蚀。
2. 产生的颗粒少，产品产量更高。
3. 在真空中具有低释气和低吸湿特性。
4. 高温性能。
5. 电绝缘性能，低介电常数。
6. 尺寸稳定性更长，零件寿命更长，抗蠕变性。
7. 金属离子含量低，因此高纯度化学品中的可萃取物含量低。
8. 优良的可加工性。
9. 阻燃剂。
10. 导热系数低。
那么，这些高性能塑料是如何使用的？ 首先，您必须了解半导体加工设备的种类很多。高性能塑料在半导体制造的所有阶段都很重要，但在湿工作台中可能没有什么特别的。这些机器执行湿化学过程，例如酸蚀刻以及化学冲洗和干燥。湿式工作台可最大限度地提高工艺纯度，并最大限度地减少干燥过程中化学物质残留或晶圆污染的威胁。
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高性能塑料广泛用于此类设备， PVDF（聚偏二氟乙烯）等塑料； PP 2 （聚丙烯）; PTFE（聚四氟乙烯）； FEP（氟化乙烯丙烯；PFA（全氟烷氧基）；CPVC（氯化聚氯乙烯）；ECTFE（乙烯三氟氯乙烯）和 PCTFE（聚三氟氯乙烯）是一些比较常见的。这些高性能塑料用于制造罐、配件、螺钉、垫圈、垫片、外壳、垫圈、晶圆承载托盘、把手、铰链、片材、管道和泵。它们具有高度的耐化学性，能够承受极端环境。
如果没有高性能塑料，我们的笔记本电脑、手机和宽屏电视，甚至信息时代本身，可能都不可能实现。
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1 根据半导体工业化学品和气体手册 威利出版。
2 均聚物
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