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MEMS 设计自动化工具对更广泛的几何形状进行建模

对于设计微机电系统 (MEMS) 设备(例如运动传感器、麦克风、计时设备和能量收集器)并将其集成到其他系统和电路中的工程师,Lam Research 公司 Coventor 发布了其 MEMS 设计自动化平台的新版本。其 CoventorMP 1.3 软件扩展了可精确建模的几何范围,新增功能包括增强的设备构建和建模功能、仿真和结果性能改进以及其他自助功能。

CoventorMP 平台为 MEMS 设计提供了一个统一的环境,从完全参数化的设计输入到可以在所有抽象级别进行仿真的功能模型的生产。在该平台内,MEMS+ 软件使用户能够将先进的有限元或基本的 MEMS 特定构建块组装到一个完整的设计中。设计输出可直接包含在 MathWorks 系统模型和 Cadence 电路设计中,提供仿真结果的速度比传统有限元分析工具快 100 倍。

最新版本 CoventorMP 1.3 满足了在消费、汽车、航空航天、工业和物联网应用中快速轻松地设计高度复杂的 MEMS 设备并提高下一代 MEMS 设备的性能和可靠性的需求。它可以帮助设计人员在制造之前更深入地了解设备行为,从而帮助加快产品开发。

ADI 公司 MEMS 设计总监兼 ADI 研究员 Sam Zhang 表示:“最新发布的 CoventorMP 产品实现了 MEMS 设计能力的突破。随着 GDS 导入功能的引入以及在 MEMS+ 中对任意几何体进行网格剖分的能力,我们可以在设备和系统级别快速准确地评估 MEMS 设计的性能。 MEMS+ 使我们能够轻松地迭代设计更改和改进,以满足我们的产品性能目标。 ADI 极大地受益于 Coventor 在 MEMS 设计自动化方面的进步,我们期待继续与 Coventor 的长期合作。”

新版 CoventorMP 1.3 现已推出,包括增强的设备构建和建模、改进的模拟和新的自助功能。

增强的设备构建和建模功能
Coventor 表示,强大的自动网格划分功能已添加到 MEMS+ 板组件中。确保对 MEMS 设备中常见的高度穿孔板结构进行准确模拟,支持高达 300 万个自由度以及网格算法的自动选择。结合 Coventor 的设计方法,用户现在可以直接从布局创建自动网格设计。

模拟和结果性能改进
CoventorMP 1.3 改进了对结果文件大小的控制,从而减少了模拟时间和磁盘空间的使用。现在在 MATLAB 仿真期间可用的 MEMS+ 模型输出选项可以显着减少仿真时间。 MEMS+模拟器提供更精确的数值结果。

额外的自助功能
为 MEMS+ 中的 MEMSCAP PolyMUMPS 和 SOIMUMPS 代工工艺提供了新的支持。 CoventorMP 中还提供了一个扩展的设备示例库,以及对 CoventorMP 在线帮助系统的增强。

CoventorMP 1.3 将在美国、欧洲、亚洲和全球的所有主要客户安装和部署。


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