高纯度面密封接头说明

为什么真空面密封接头是高纯度半导体应用的理想选择

Masroor Malik，世伟洛克半导体市场经理

鉴于半导体行业对生产更强大芯片所需的越来越小的工艺节点的不懈追求，保持工艺清洁度越来越具有挑战性。为满足这些不断变化的需求，晶圆厂必须创造出不折不扣的精度和清洁度的生产环境，而 OEM 必须开发不断提升的设备以满足这些需求。

在最苛刻的超高纯 (UHP) 流体系统应用中——例如惰性或特种气体——接头连接是工具 OEM 的一个关键考虑因素。尽管 UHP 系统通常采用焊接方式将泄漏的可能性降至最低，但某些连接必须定期重新制作以进行维护或更换。但由于某些现代工艺流体和操作条件的腐蚀性，带有弹性体 O 型圈密封件的传统接头选项可能因材料不兼容而不适用于可靠服务。同时，密封性至关重要。泄漏可能是危险的，可能会污染超高压环境，并可能使制造商在收入损失和维护费用方面付出巨大的代价。

在这些应用中，真空面密封接头可以代表一种潜在的解决方案。与传统接头相比，该技术提供了金属对金属密封的可靠性，通过真空至正压设计提供密封性能。真空面密封配件还可以通过最大限度地减少截留区域来帮助提高整体清洁度，并且可以通过其简单的安装过程提高生产和维护效率。

不妥协的密封性能

真空面密封接头最初是在 1960 年代开发用于超高真空系统的，这对核能工业的开创性科学研究至关重要。如今，它们对剧毒、腐蚀性和易燃液体保持密封的能力使其成为半导体生产中一些最流行的应用的理想选择。

真空面密封接头使用两个高度抛光的珠子在公母螺母接合期间使金属垫圈变形，以实现如此高水平的性能。密封发生在珠子“面”的垫圈上，从而使配件得名。因为密封是在珠子穿透垫片时形成的，所以垫片材料必须始终比珠子软。这种变形使珠子能够保持其抛光性，这对密封性能至关重要。重要的是，无论何时拆卸配件，都应保护抛光珠。在常规操作条件下，密封件被流过接头的气体完全吹扫，使其易于吹扫，是必须避免截留体积和死区的系统的理想选择。

真空面密封接头保持密封的能力使其成为半导体生产中一些最重要应用的理想选择。

除了产生可靠的密封外，与传统的管接头相比，真空面密封接头的设计还可以消除潜在的污染物截留区域。由于半导体 UHP 工艺包含最终会向下游移动并暴露在工艺室中的晶圆的气体，因此任何确保清洁度和纯度的机会都是有价值的。真空面密封接头提供半导体生产环境所需的出色清洁度。一些供应商可能会提供额外的增强功能；具有较高镍和铬浓度的高级不锈钢可以进一步提高耐腐蚀性，并且电抛光等表面光洁度处理会留下钝化层以提高清洁度。

高效的安装和维护

UHP 系统的维护和保养程序必须快速完成，并且对设施运行的干扰最小，因为在世界上半导体制造，时间就是金钱。

由于它们可以轻松拆卸和改造，真空面密封接头在需要成败点的超高压应用中提供效率和维护优势。安装简单，可以使用常用工具进行。首先，将连接拧在一起，直到用手拧紧。然后，外螺母保持稳定，而内螺母用扳手用手拧紧 1/8 圈 (45°)（如果使用铜垫圈，则旋转 1/4 圈 90°）。当需要重新制作时，技术人员需要将使用过的垫圈取下并更换为另一个，然后按照原始化妆说明进行操作。这个简单的过程可以在初始系统组装和需要维护时提高效率，帮助用户更快地恢复生产。

观看如何安装真空面密封接头

真空面密封接头是超高压系统中的理想选择，在这些系统中，可靠性和易于维护性至关重要。如果您决定为您的系统指定它们，与合适的供应商合作也很重要。

世伟洛克在半导体应用工艺流体系统方面的创新传统可以追溯到硅谷的早期。我们的录像机 ^® 金属垫片面密封配件专门设计用于解决在处理和分配通过制造商设施流向 OEM 芯片制造工具的超高压气体时遇到的独特挑战。

我们了解半导体生产环境中每天面临的挑战——我们很高兴与客户分享我们的知识。我们提供有关 VCR 配件、其设计特点以及可以最有效地部署它们的位置的综合培训课程。参与者还可以了解如何有效地安装每种配件类型以及如何解决任何潜在问题。

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