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超低温微型温度计:芯片上实现50 mK精度

研究人员开发微型超导温度计,测量1开尔文以下(-272.15°C或-457.87°F)温度,低至50毫开尔文(mK)潜在5 mK。比传统低温温度计更小、更快、更便捷,用于芯片级器件且可量产。

尺寸2.5×1.15毫米,温度计可嵌入或粘贴另一低温微波器件,芯片安装时测量其温度。温度计用于演示超导微波放大器加热快速准确测量。

温度计允许研究人员在测试封装中以极低成本测量广泛组件温度,无需引入大量额外电气连接。有潜力惠及量子计算或各领域使用低温传感器研究者。

温度计由涂二氧化硅超导铌谐振器组成。涂层与谐振器相互作用移动其自然振动频率。科学家怀疑因原子在两位点间“隧穿”,量子力学效应。

温度计基于谐振器自然频率随温度依赖新应用原理。温度计将电子测量频率变化映射为温度。对比,亚开尔文常规温度计基于电阻。它们需布线至室温电子设备,增加复杂性并潜在导致加热干扰。

新温度计约5毫秒测温——比大多数约0.1秒常规电阻温度计快得多。温度计也易单工艺步骤制造。可量产,3英寸(约75毫米)硅晶圆上可装1200多个。

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