氧化铪及其结构和应用
氧化铪及其结构和应用
氧化铪 是式 HfO2 的无机化合物。这种无色固体也称为铪,是最常见和最稳定的铪化合物之一。它是一种带隙为 5.3 ~ 5.7 eV 的电气隔离器。 二氧化铪 在某些制备铪金属的过程中是中间体。
氧化铪 是相当惰性的。与浓硫酸、强碱等强酸反应。它在氢氟酸中缓慢溶解,生成氟铪酸阴离子。在高温下,在石墨或四氯化碳存在下与氯反应生成四氯化铪。
HfO2 采用与氧化锆相同的结构(ZrO2 )。不同于 TiO2 ,其中包括所有相中的六维钛,氧化锆和铪由七配位金属中心组成。实验观察到多种晶相,包括立方晶相(Fm-3m)、四方晶相(P42/nmc)、单斜晶相(P21/c)和正交晶相(Pbca和Pnma)。
众所周知,铪可以在很宽的压力和温度范围内采用另外两个正交亚稳相(空间群 Pca21 和 Pmn21),这大概是最近在铪薄膜。
氧化铪薄膜 ,用于现代半导体器件,通常以非晶结构沉积(通常通过原子层沉积)。非晶结构的可能优势促使研究人员结合氧化铪 用硅(形成铪硅酸盐)或用铝,这被证明可以提高氧化物的结晶温度。铪。
Hafnia 采用与氧化锆 (ZrO2) 相同的结构。与在所有相中都包含六维 Ti 的 TiO2 不同,氧化锆和氧化铪由七配位金属中心组成。实验观察到多种晶相,包括立方晶相(Fm-3m)、四方晶相(P42/nmc)、单斜晶相(P21/c)和斜方晶相(Pbca和Pnma)。
众所周知,铪可以在很宽的压力和温度范围内采用另外两个正交亚稳相(空间群 Pca21 和 Pmn21),这大概是最近在铪薄膜。
氧化铪薄膜 ,用于现代半导体器件,通常以非晶结构沉积(通常通过原子层沉积)。无定形结构的可能优势促使研究人员将氧化铪与硅(形成铪硅酸盐)或铝结合,事实证明这可以提高氧化物的结晶温度。铪。
Hafnia 用于光学涂层,并作为 DRAM 电容器和高级金属氧化物半导体器件中的高 K 电介质。 氧化铪 2007年由英特尔推出,用于取代氧化硅作为场效应晶体管的栅极绝缘体。
晶体管的优势在于它们的高介电常数:HfO2 的介电常数是 SiO2 的 4-6 倍。介电常数和其他性能取决于沉积方法、材料的成分和微观结构。
近年来,氧化铪 作为阻性开关存储器和兼容 CMOS 的铁电存储器的可能候选者正在引起额外的兴趣。
因为它的熔点很高 , 铪也用作热电偶等设备的绝缘材料中的耐火材料,它可以在高达 2500°C的温度下工作 .
二氧化铪的多层薄膜, 二氧化硅和其他材料已被开发用于建筑物的被动冷却。这些薄膜反射太阳光并以穿过地球大气层的波长辐射热量,并且在相同条件下可以使温度比周围材料低几度。
结论:
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