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高等级洁净室机器人:微电子制造的无尘防静电双重守护者

洁净室机器人准入门槛极高:无尘部件/内置真空吸尘/防污染涂层/静电密封接地/非导电材质五大硬指标,守护微电子制造对亚微米颗粒与静电放电的零容忍红线。

污染风险量级认知

人发丝75-100μm,洁净室管控0.5μm颗粒(发丝1/200),哈勃望远镜因<0.5μm颗粒失效造成数十亿损失,印证微观污染宏观灾难性后果。

RobotWorx集成五大品牌洁净室机器人,覆盖Class 1-10,000+全等级,定制专属洁净自动化方案。

工业机器人

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