世界最小微型房屋：20微米微结构
纳米尺度操作极其困难。涉及大量复杂材料、组装技术和机器人设计，以开发微型折纸结构。
现在，法国Femto-ST研究所科学家开发出在如此微小尺度工作的新方法。他们使用双束扫描电子显微镜（SEM）/聚焦离子束（FIB）配合6自由度机器人，制造出世界最小微型房屋。
他们首次实现精度小于2纳米的图案化和组装，这对未来机器人和光学应用有益。
如何建造？
他们在真空室内组合纳米组装组件，并安排电子显微镜观察整个过程。这很像用纸折大骰子，但需要复杂工具和技术。
研究人员用FIB（如剪刀）切割和塑造房屋的二氧化硅薄膜（纸）。将墙壁折叠到位后，用FIB气体注入系统（低功率配置）固定结构边缘。
为展示系统灵活性和精度，他们在屋顶轻溅射瓷砖图案。整个建房过程中，系统需聚焦300×300微米微小区域向二氧化硅薄膜发射离子。
两名工程师通过多台电脑操作机器人。虽部分步骤已自动化，研究人员希望未来实现完全自动化组装。
为何做此实验？
实验是展示μRobotex工作（灵活性和精度）的有趣方式——一个表征和微组装尺寸小于10微米微小结构的平台。其目标是为微纳技术科学家提供国际先进水平的竞争性设备。
借助μRobotex系统，工程师可构建功能化微结构，通过将自身微结构置于光纤上识别特定分子。这些光纤随后插入难以到达区域，如血管检测目标分子。
此外，实验结果表明，将微机器人与SEM真空室结合，提供了将洁净室设施范围扩展到用不同材料构建三维微结构的手段。
研究人员还基于纳米光子晶体、晶格、天线、碳纳米管、折纸3D生物传感器等，提出制造多种光学捕获功能的新机制。
目前，科学家正进一步增强系统；他们想构建更小结构并固定在半径小至10纳米的碳纳米管上。
工业技术