ISMI发布RAMCalc:基于SEMI E10标准的Web端设备可靠性指标工具
ISMI发布RAMCalc:基于SEMI E10标准的Web端设备可靠性指标工具
国际半导体制造倡议组织(ISMI)今日推出RAMCalc,一款云端计算器,可采集、汇总、报告半导体制造设备在设备、模组、晶圆层面的关键可靠性、可用性、可维护性(RAM)指标。该工具符合SEMI E10标准——测量设备性能的行业基准。
RAMCalc专为单路径和复杂多路径集群工具设计,自动计算:
- 平均故障间隔时间(MTBF)
- 平均修复时间(MTTR)
- 平均离线时间(MTOL)
- 可用性
基础单路径版免费向公众开放,适用于独立或非集群制造设备。多路径版面向高吞吐集群环境,将上述能力扩展至多路径工具。
“稳健的数据收集方案是精准设备演示测试的关键。”ISMI项目经理Lorn Christal表示,“RAMCalc基于一致的数据收集机制,提供精确、标准化的性能指标。”
算法可直接加载到制造工具上,确保生成的指标完全符合SEMI E10。联合项目经理Jo Beekman指出:“RAMCalc高度适配。虽目前生成SEMI E10指标,同一框架可定制为其他生产力状态或未来未定义指标。”
预计今年晚些时候将就修订SEMI E10标准进行投票——旨在规范多路径集群工具的计算——RAMCalc已按预期设计以符合即将出台的更新。
RAMCalc源代码通过ISMI的协同应用开发环境(CADe)免费获取,该社区源代码计划欢迎ISMI会员和非会员以互惠方式参与。
ISMI将于11月1日ISMI研讨会举办全面培训,涵盖:
- 预期工艺集
- 单路径集群工具
- 多路径集群工具
- 马拉松测试与大批量生产中RAMCalc的实战应用
基础RAMCalc应用可直接从ISMI公开网站访问:https://ismi.sematech.org/industry/ramcalc/index.htm。
更多信息或咨询请联系:
Jo Beekman – jo.beekman@ismi.sematech.org
Lorn Christal – lorn.christal@ismi.sematech.org
关于ISMI
ISMI是全球领先半导体制造商联盟,致力于通过协同制造效能项目降低单晶圆成本,最终降低单芯片成本。ISMI是SEMATECH(www.sematech.org)全资子公司。
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