ISMI 提供用于设备可靠性性能跟踪的软件
国际 SEMATECH 制造计划 (ISMI) 已发布其可靠性、可用性和可维护性计算器 (RAMCalc)，这是一种基于 Web 的应用程序，可在设备、模块和晶片级别捕获和计算 RAM 指标，以用于符合 SEMI E10 的报告。 ISMI 的 RAMCalc 使设备、工业和维护工程师能够计算 RAM 指标，例如平均故障间隔时间、平均修复时间、平均离线时间以及单路径和复杂多路径集群工具的可用性。
向公众免费提供的基本单路径 RAMCalc 计算单室或非集群制造设备的性能。除了单路径计算器，RAMCalc的多路径版本可以跟踪复杂的多路径集群工具设备。
“为设备演示测试开发强大的数据收集解决方案至关重要，”ISMI 项目经理 Lorn Christal 说。 “ISMI 在设备演示测试中的作用是提供根据标准化数据收集机制制定的准确性能指标。”
RAMCalc 中使用的算法可以独立加载到晶圆厂工具上，以自动生成与 SEMI E10 一致的 RAM 指标。根据联合项目经理 Jo Beekman 的说法，“RAMCalc 很灵活。它目前生成与 SEMI E10 一致的指标，但使用一组不同的状态，它可以适应其他指标，例如与设备生产力相关的指标，或者它可以用于为尚未定义的状态生成指标。”
SEMI E10是众所周知的测量半导体制造设备的设备可靠性性能的行业标准。 SEMI E10 通过提供在制造环境中测量该设备的 RAM 性能的标准，为半导体设备的用户和供应商之间的通信建立了一个通用基础。预计今年晚些时候将进行修订 SEMI E10 标准的投票。投票将尝试正式计算多路径集群工具设备的 RAM 指标。 ISMI 的 RAMCalc 旨在符合新兴选票。
RAMCalc 源代码可通过 ISMI 的协作应用程序开发环境 (CADe) 获得。 CADe 是一个“社区源”代码共享程序，ISMI 成员可以免费使用，非成员公司可以在交换条件下使用。
ISMI 将在 2010 年 11 月 1 日的 ISMI 研讨会上介绍如何使用 RAMCalc 在涉及马拉松测试和大批量生产环境的情况下跟踪或基准设备性能。该课程将重点介绍新概念：预期过程集、单路径集群工具和多路径集群工具，并演示如何在每种情况下使用 RAMCalc。
基本 RAMCalc 应用程序可在 ISMI 的公共网站 http://ismi.sematech.org/industry/ramcalc/index.htm 上获得。如需更多信息，请联系 Johannes Beekman，[email protected]，或 Lorn Christal，[email protected]。
关于ISMI
ISMI 是世界主要半导体制造商的全球联盟，致力于通过专注于制造效率的合作计划来降低每片晶圆的成本，并最终降低每片芯片的成本。 ISMI 是 SEMATECH 的全资子公司，www.sematech.org。
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