超声波加工详解:高频振动精密去除技术
听说过超声波加工吗?也称超声波振动加工,是一种制造工艺,利用高频振动配合磨料颗粒从工件去除材料。
超声波刀具产生大量微小振动,随时间推移去除与其接触的工件材料。继续阅读了解超声波加工原理与应用。
什么是超声波加工?
超声波加工是一种减材制造工艺,通过工具对工件表面进行高频、低振幅振动,在细磨料颗粒存在下去除零件表面材料。工具垂直或正交于零件表面运动,振幅0.05-0.125mm (0.002-0.005 in.)。
细磨料颗粒与水混合形成浆料,分布在零件和刀具尖端。磨料典型粒度100-1000目,粒度越小(目数越高)表面光洁度越好。
超声波振动加工通常用于脆性材料及高硬度材料,基于微裂纹力学机制。
超声波加工中,刀具产生振动将微米级颗粒投射向工件。颗粒通常与水或其他液体混合形成浆料。
超声波刀具启动时,高速将这些颗粒投射向工件表面。颗粒磨蚀性磨去工件表面材料。
超声波加工工艺
机床切削刀具材质比工件软,通常用软钢、镍。刀具振动时加入磨料浆料(液体),含磨料颗粒。
磨料浆料加入至工件与颗粒相互作用。液体颗粒作用下,工件脆性表面被磨蚀,同时刀具逐渐变形。

超声波加工工作原理
超声波加工耗时完全取决于振动刀具频率。也取决于磨料浆料颗粒尺寸、刚度和粘度。
磨料液用颗粒通常为碳化硼或碳化硅,因其刚性更强。浆料粘度低时用过磨料易带走。
超声波加工类型
1. 旋转超声波振动加工 (RUM)
旋转超声波振动加工(RUM)中,垂直振荡刀具能绕刀具垂直中心线旋转。不使用磨料浆料去除材料,而是刀具表面镶嵌金刚石磨削零件表面。
旋转超声波机床专攻先进陶瓷和合金:玻璃、石英、结构陶瓷、钛合金、氧化铝、碳化硅。用于高精度深孔加工。
旋转超声波振动加工是相对较新制造工艺,仍在深入研究。目前研究者尝试将其适配至微观级,使机床运行类似铣床。
2. 化学辅助超声波振动加工 (CUSM)
化学辅助超声波加工(CUSM)使用化学反应性磨料液确保玻璃陶瓷材料更大切削量。用氢氟酸等酸性溶液,材料去除率和表面质量可大幅优于传统超声波加工。
CUSM缩短加工时间和降低表面粗糙度,但入口轮廓直径因浆料额外化学反应性略大于正常。为限制扩大程度,必须仔细选择浆料酸含量确保用户安全和产品质量。
超声波加工应用
超声波加工应用:
- 加工极精密复杂形状零件
- 钻任意形状圆孔
- 磨削脆性材料
- 孔型轮廓加工
- 雕刻
- 扩孔和铸币
- 螺纹加工
- 切割和拉削硬质材料
- 加工玻璃、陶瓷
- 加工精密矿石、钨
- 模具冲孔和切断作业
- 精度足以制造微机电系统组件如微结构玻璃晶圆
- 金刚石按所需形状切割
超声波加工优势
虽有数十种其他制造工艺能去除工件材料,但应用通常限于强韧材料工件。超声波加工独特之处在于能去除几乎所有类型工件材料,包括硬脆材料。
无论工件是玻璃、陶瓷甚至石英,均可用超声波加工改变物理尺寸。
超声波加工无需加热工件。若工件对热波动敏感,可安全用此工艺改变。加工中工件温度保持不变,即过程无需加热或冷却工件。
此外,超声波加工提供比许多其他加工工艺更高公差。能修改其他工艺无法实现的高公差工件。
超声波加工劣势
另一方面,超声波加工有几个缺点,其一是材料去除率慢于平均。去除工件材料非特别快。
相反,比大多数加工工艺慢。对寻求大规模量产工艺的制造企业,超声波加工可能是不佳选择。
除去除率慢外,超声波加工不支持深孔加工。制造企业常在工件钻孔后再用超声波加工刀具。孔太深时浆料无法填充。
制造工艺