克服汽车产品开发中的芯片缺陷挑战

SEMI Europe 营销和传播经理 Serena Brischetto

未来，包括高级驾驶辅助系统 (ADAS) 在内的电子相关设备将占汽车成本的 50%。

更重要的是，随着对车辆的更多控制转向自动化，零缺陷成为新的安全标准，零部件性能和可靠性的误差幅度将变得非常小。

SEMI 的 Serena Brischetto 与 Entegris 欧洲、中东和非洲地区高级区域总监 Antoine Amade 就零缺陷作为塑造未来汽车和汽车行业所必需的“新协作方法”（见下方视频）进行了交谈。

Serena Brischetto，SEMI：下一代汽车将更加电动、自主和互联。汽车厂商追求这一目标最紧迫的下一步是什么？

Amade ：汽车生态系统面临许多挑战。例如，当汽车实现自动驾驶时，它们与云的交互以及同时计算的大量数据可能容易受到能够夺取车辆控制权的网络攻击。

另一个例子是人工智能 (AI) 的使用，因为这是探索和定义正确架构同时满足汽车质量要求的大好机会。

高级节点将放大质量挑战。可靠性也很重要，因为 90% 的设备故障都是外在的，或者与设备设计无关。

今天，当务之急应该是消除潜在缺陷，即那些在产品投入使用之前仍未被发现的缺陷。

这些潜在缺陷可能会出现在车辆寿命的未来某个时间点——1 个月、1 年、10 年等等。这是汽车制造商和供应链的重中之重。

SEMI：随着在线计量工具达到检测极限，行业将如何减少潜在缺陷？

Amade:减少潜在缺陷现在是半导体工厂的首要任务。但是，可见和不可见缺陷之间存在差距。虽然晶圆厂可以检测到小缺陷，但仍然需要人工干预来管理它们。

我们正在目睹汽车芯片生产中污染控制策略的根本转变，从污染控制以提高良率到污染控制以提高可靠性。

这种转变源于这样一种认识，即所有颗粒，无论大小，以及污染物的万亿分之一 (ppt) 浓度水平，都会影响缺陷率和可靠性。

污染管理将在使该行业在组件级别达到十亿分之几 (ppb) 故障率方面发挥关键作用。

SEMI：行业将如何实现零缺陷目标？

Amade ：遵循三个主要行动轴心的健全的污染管理策略将是实现零缺陷的关键：晶圆厂的环境空气、晶圆在其生命周期内的环境以及清洁化学品输送路径中材料的完整性。

这三个领域的污染管理都提供了限制过程可变性的机会。限制变异的第一步是检测它，当导致变异的污染物难以识别或由意外事件引起时，这可能会很困难。

当可以检测到污染物特征时，就会为其根本原因留下线索。仔细检查这些特征可以为污染控制策略提供信息，以消除根本原因并减少整体缺陷。

SEMI：您认为哪种协作参与模式最能实现零缺陷？

Amade ：Entegris 将 SEMI 全球汽车咨询委员会 (GAAC) 视为整个汽车半导体生态系统（从汽车制造商到材料供应商）的完美协作平台。

Entegris 还是汽车半导体供应链需求平台 (PASRASC) 的成员。这两个论坛都有助于提高关键挑战和潜在解决方案的知名度。

合作始于根据必须在整个价值链中传达的现有标准和指南就汽车定义达成一致。

合作的另一个重要因素是对如何使用 SiC 半导体（碳化硅）等新材料进行标准化。 Entegris 通过其新的协作方法 (NCA) 平台在减少缺陷的污染管理方面发挥着主导作用，该平台为所有参与检测和改进缺陷的人员带来了新的知识共享水平。

SEMI：您能更详细地解释一下新的协作方法吗？

Amade ：在 SEMICON Europa 的 SEMI 智能交通论坛上，我们展示了我们与汽车制造商合作开发的流程和工具，并作为我们新合作方法的一部分与芯片制造商一起实施。

我们的数据驱动工具比较当前的污染解决方案实践并确定优化机会。

作为生态系统成熟度的良好指标，这些工具允许芯片制造商将同行的污染缓解实践与他们自己的进行比较，并确定推进污染管理策略的热门话题。

每年，在 Entegris 技术日期间，我们都会分享最知名的方法、案例研究并审查晶圆厂流程，以提出定制的解决方案。一切都是为了改善缺陷。

Amade 于 1995 年加入 Entegris，担任其半导体业务的应用工程师。 Amade 目前担任 EMEA/NA 高级总监，主要专注于通过市场战略发展欧洲和中东的半导体业务，以及管理销售、客户服务和营销团队。

Amade 在 Entegris 担任领导职务，包括气体微污染市场管理、战略客户管理和区域销售管理。

Amade 拥有 ENS Chimie Lille 的化学工程学位，并且是 SEMI 电子材料集团和欧洲全球汽车咨询委员会 (GAAC) 的成员。

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