消除芯片潜在缺陷：汽车产品开发的零缺陷协作策略

作者：Serena Brischetto，SEMI Europe市场与传播经理

未来，包含高级驾驶辅助系统（ADAS）在内的电子相关装备将占汽车成本惊人的50%。

更关键的是，随着车辆控制向自动化转移，零部件性能与可靠性的容错空间将变得极其微小——零缺陷成为新安全标准。SEMI的Serena Brischetto与Entegris EMEA高级区域总监Antoine Amade对话，探讨零缺陷作为“培育未来汽车与汽车产业所需的新协作方法”（见下方视频）。

访谈实录

SEMI：下一代汽车将更电动化、自动化、互联化。汽车产业链追求此目标最迫切的下一步是什么？

Amade：汽车生态系统面临诸多挑战。例如汽车自动化后，其与云端交互及海量同步计算数据可能面临网络攻击夺取车辆控制权风险。另如人工智能（AI）应用，在满足汽车质量要求前提下探索定义正确架构有巨大机遇。质量挑战将被先进制程节点放大。可靠性至关重要，因90%器件失效为外在因素（非设计缺陷）。当前首要任务应是消除潜在缺陷——即产品使用前未被检出的缺陷。这些潜在缺陷可能在车辆生命周期未来某个时间点显现——1个月、1年、10年等。这是车企与供应链的核心聚焦。

SEMI：在线计量工具达检测极限，产业如何减少潜在缺陷？

Amade：最小化潜在缺陷现为半导体晶圆厂首要任务。但可见缺陷与不可见缺陷间存在鸿沟。虽晶圆厂能检测微小缺陷，仍需人工干预管理。我们见证汽车芯片生产污染控制策略根本性转变：从“为良率控制污染”转向“为可靠性控制污染”。转变源于认识到所有颗粒（无论尺寸）及万亿分之一（ppt）浓度污染物均影响缺陷率与可靠性。污染管理将在实现器件级十亿分之一（ppb）失效率中发挥关键作用。

SEMI：产业如何达成零缺陷目标？

Amade：遵循三大行动轴的合理污染管理策略将是达成零缺陷关键：晶圆厂环境空气、晶圆全生命周期环境、洁净化学品输送路径材料完整性。这三领域污染管理均提供限制工艺变异机会。限制变异第一步是检测变异——当导致变异的污染物难识别或由意外事件引起时颇具挑战。污染物特征被检出时会留下根因线索。审慎审视这些特征可指导污染控制策略消除根因、降低整体缺陷率。

SEMI：何种协作模式最利于达成零缺陷？

Amade：Entegris视SEMI全球汽车咨询委员会（GAAC）为汽车半导体全生态系统（从车企到材料供应商）完美协作平台。Entegris也是跨供应链汽车半导体需求平台（PASRASC）成员。两论坛均助提升关键挑战与潜在方案可见度。协作始于基于现有标准指南达成汽车定义共识并贯穿价值链传达。另一协作关键要素是标准化新材料（如SiC碳化硅半导体）用法。Entegris通过新协作方法（NCA）平台在污染管理缺陷率降低中发挥领导作用，为所有参与检测改进缺陷率各方带来新层级知识共享。

SEMI：能否详述新协作方法？

Amade：在SEMICON Europa SEMI智能交通论坛上，我们展示了与车企协作开发、在晶圆厂实施的NCA流程与工具。我们的数据驱动工具对比当前污染控制实践并识别优化机会。作为生态系统成熟度良好指标，工具让晶圆厂对比同行污染缓解实践与自身差距，识别推进污染管理策略的热点话题。每年Entegris技术日分享最佳已知方法、案例研究、审查晶圆厂流程以提议定制化方案。核心皆为改善缺陷率。

Amade 1995年加入Entegris任半导体业务应用工程师。现任EMEA/NA高级总监，专注通过市场策略、销售/客服/营销团队管理拓展欧洲中东半导体业务。曾任Entegris气体微污染市场管理、战略客户管理、区域销售管理等领导职务。拥有ENS Chimie Lille化学工程学位，为SEMI电子材料组与欧洲全球汽车咨询委员会（GAAC）成员。

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